关于我们
上海恩替科技有限公司(简称ATI-S)于2017年2月份在上海正式成立,致力于计数与分析仪器的供应并提供专业的技术支持,如不同种类CMP料浆的大粒子计数器,对于DSP溶液、CMP料浆和Nitride etching溶液的精密浓度分析仪等。公司以韩国ATIK公司(http://www.atikorea.com)为依托,是具有 技术的计量领域供应商中的长期合作者,与全球重要的半导体制造商建立卓越稳定的合作关系。公司一直秉承对产品负责的理念,拥有多年丰富工作经验的工程师可将产品的监测功能发挥到 令人满意的程度,而且公司在超敏材料应用的技术上已取得了显著的成就。公司在上海、武汉,西安和无锡都设有办事处。









产品

美国GMTI公司 的 SemiChem
的工艺流程监控在更高效率和一致性方面,给工艺工程师提供了准确、可靠和灵活的监控过程,从而满足高产量和零缺陷的要求。在竞争异常激烈的微电子行业中,如果没有精密的监测和控制系统来确保符合的晶片制造,那 的设施也无法承受昂贵的工艺流程。而且定量化学浓度可在SemiChem中获得。完整的在线化学监测允许对溶液组成进行实时的修正,从而保证稳定工艺条件的控制,以及产品一致性的维护。一旦熟知一个定量的过程组成,那产品的收益定会增加。对于影响产品质量的变数是可以立即显现出来的,所以在产品质量损失前,就可以迅速纠正。

美国Entegris PSS公司 的 Accusizer Mini LPC
新专利AccuSizer MiNi技术采用LPC Slurry监测,在操作条件下,也可进行CMP Slurries的连续、没有稀释的监测。这款Mini的制作运用了模块化设计方法,这使在线CMP监测应用中,可允许我们的能力模板与客户的具体需求进行吻合匹配。而且具有广泛检测范围的传感器和可利用的流体模块组合在一起,可以为客户提供半定制的仪器,这将大大满足客户的流程需求。美国PSS粒度仪公司已为 的半导体芯片厂商提供具有完整多点过程的控制系统,从而满足客户监控配浆系统的作用。同时我们的仪器设备在增加产量上有可证实的追踪记录,并且可将引起生产中断或流水线故障的LPC问题,提前检测出来。
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