美国GMTI公司 的 SemiChem

的工艺流程监控在更高效率和一致性方面，给工艺工程师提供了准确、可靠和灵活的监控过程，从而满足高产量和零缺陷的要求。在竞争异常激烈的微电子行业中，如果没有精密的监测和控制系统来确保符合的晶片制造，那 的设施也无法承受昂贵的工艺流程。而且定量化学浓度可在SemiChem中获得。完整的在线化学监测允许对溶液组成进行实时的修正，从而保证稳定工艺条件的控制，以及产品一致性的维护。一旦熟知一个定量的过程组成，那产品的收益定会增加。对于影响产品质量的变数是可以立即显现出来的，所以在产品质量损失前，就可以迅速纠正。

美国Entegris PSS公司 的 Accusizer Mini LPC

新专利AccuSizer MiNi技术采用LPC Slurry监测，在操作条件下，也可进行CMP Slurries的连续、没有稀释的监测。这款Mini的制作运用了模块化设计方法，这使在线CMP监测应用中，可允许我们的能力模板与客户的具体需求进行吻合匹配。而且具有广泛检测范围的传感器和可利用的流体模块组合在一起，可以为客户提供半定制的仪器，这将大大满足客户的流程需求。美国PSS粒度仪公司已为 的半导体芯片厂商提供具有完整多点过程的控制系统，从而满足客户监控配浆系统的作用。同时我们的仪器设备在增加产量上有可证实的追踪记录，并且可将引起生产中断或流水线故障的LPC问题，提前检测出来。