美国GMTI公司 的 SemiChem

先进的工艺流程监控在更高效率和一致性方面，给工艺工程师提供了准确、可靠和灵活的监控过程，从而满足高产量和零缺陷的要求。在竞争异常激烈的微电子行业中，如果没有精密的监测和控制系统来确保符合的晶片制造，那最先进的设施也无法承受昂贵的工艺流程。而且定量化学浓度可在SemiChem中获得。完整的在线化学监测允许对溶液组成进行实时的修正，从而保证稳定工艺条件的控制，以及产品一致性的维护。一旦熟知一个定量的过程组成，那产品的收益定会增加。对于影响产品质量的变数是可以立即显现出来的，所以在产品质量损失前，就可以迅速纠正。

美国Entegris PSS公司 的 Accusizer Mini LPC

新专利AccuSizer MiNi技术采用LPC Slurry监测，在操作条件下，也可进行CMP Slurries的连续、没有稀释的监测。这款Mini的制作运用了模块化设计方法，这使在线CMP监测应用中，可允许我们的能力模板与客户的具体需求进行吻合匹配。而且具有广泛检测范围的传感器和可利用的流体模块组合在一起，可以为客户提供半定制的仪器，这将大大满足客户的流程需求。美国PSS粒度仪公司已为领先的半导体芯片厂商提供具有完整多点过程的控制系统，从而满足客户监控配浆系统的作用。同时我们的仪器设备在增加产量上有可证实的追踪记录，并且可将引起生产中断或流水线故障的LPC问题，提前检测出来。